1.溫度穩(wěn)定性好。

　　電容式傳感器的電容值一般與電極材料無關(guān)，有利于選擇溫度系數(shù)低的材料，由于加熱極小，對穩(wěn)定性影響不大。而且電阻傳感器有銅損，容易發(fā)熱產(chǎn)生零漂移。

　　2.結(jié)構(gòu)簡單。

　　電感傳感器結(jié)構(gòu)簡單，易于制造和保證高精度，可以做得很小，以實現(xiàn)一些特殊的測量;能在高溫、強輻射、強磁場等惡劣環(huán)境下工作，能承受較大的溫度變化、高壓、高沖擊、過載等。;它可以測量超高溫和低壓差，也可以測量磁性工作。

　　3.良好的動態(tài)響應。

　　由于帶電極板之間的靜電引力很小(約10^(-5)N)，電感傳感器所需的作用能量很小，而且由于其可動部分可以做得很小很薄，即質(zhì)量很輕，因此其固有頻率很高，動態(tài)響應時間短，可以在幾兆赫茲的頻率下工作，特別適合動態(tài)測量。由于介質(zhì)損耗小，可以高頻供電，系統(tǒng)工作頻率高。可用于測量高速變化的參數(shù)。

　　4.非接觸測量，靈敏度高。

　　不接觸測量旋轉(zhuǎn)軸的振動或偏心率、小滾珠軸承的徑向間隙等。采用非接觸測量時，電容式傳感器具有平均效應，可降低工件表面粗糙度對測量的影響。

　　電容式傳感器的優(yōu)點是什么?除了上述優(yōu)點外，電感傳感器還可以測量極低的壓力、力和小的加速度、位移等。，因為它們在帶電極板之間的靜電引力很小，所需的輸入力和輸入能量很小，可以敏感，分辨率高，可以感應0.01μm甚至更小的位移。由于其空氣等介質(zhì)損耗小，采用差動結(jié)構(gòu)并聯(lián)成電橋時產(chǎn)生的零殘極小，允許電路高倍放大，使儀器具有較高的靈敏度。