集成傳感器:采用標準生產(chǎn)硅半導體集成電路的技術制造。通常，用于初步處理被測信號的部分電路也集成在同一芯片上。

　　薄膜傳感器:由沉積在介質襯底(基板)上的相應敏感材料制成。采用混合工藝時，同樣可以在這個基板上制造部分電路。

　　厚膜傳感器:由相應材料的漿料涂覆在陶瓷基板上?；逋ǔＳ葾l2O3制成，然后熱處理以形成厚膜。

　　陶瓷傳感器:采用標準陶瓷技術或其變種技術(溶膠、凝膠等)生產(chǎn)。完成適當?shù)臏蕚洳僮骱?，成型的部件在高溫下燒結。

　　厚膜和陶瓷傳感器有許多共同的特點。在某些方面，可以認為厚膜技術是陶瓷技術的變形。每一種技術都有其優(yōu)缺點。陶瓷和厚膜傳感器的使用是合理的，因為研究、開發(fā)和生產(chǎn)所需的資本投入較低，以及傳感器參數(shù)的高穩(wěn)定性。