機械式光電開關是傳統(tǒng)的光電開關，在目前的光電傳感器系統(tǒng)中已成為最成熟的光電開關產品。一種實用化的機械式多模光電開關損耗小于1dB，開關時間小于1ms。但是傳統(tǒng)的機械式光電開關以遠不能滿足快速發(fā)展的工業(yè)需求，而需不斷研究卡法新型的機械式光電開關，最具成效的是微光機系列光電開關和金屬膜與無源波導相結合的光電開關。

　　微光激光傳感器機電系統(tǒng)光電開關是微機電系統(tǒng)技術與傳統(tǒng)光技術相結合的新型機械式光電開關。微光機電系統(tǒng)是基于半導體微細加工技術而成長起來的平面制作工藝技術，利用這種技術可以制作出微小而活動的機械系統(tǒng)。它采用集成電路標準工藝在襯底上制作出集成的微反射陣列。根據被驅動不見不同，可以把微光機電系統(tǒng)技術制作的光安全光幕電開關分為兩類：一類是基于傳統(tǒng)的機械式光電開關，依靠驅動光纖達到光電開關的目的，其驅動力可以是熱力，也可以是靜電力。這類光電開關保持了傳統(tǒng)機械式光電開關的高消光比特性 ，加之器件的體積大幅度縮小和器件開關速度的提高，故這類器件已開發(fā)出成熟的產品。

　　另外一種機械式光電開關則是移動器件的其它部件，如微反射鏡等，其驅動可以是熱力效應，也可以是磁效應。