電容傳感器具有高靈敏度和高精度等優(yōu)點，廣泛應用于角度、位移、液位等參數(shù)的的精確測量，但這些優(yōu)點都是建立旨在傳感器的設計正確、選材正確及加工工藝是否精細有關，但也要注意以下影響電容式傳感器精度的因素。

1. 溫度對結構尺寸的影響

環(huán)境溫度的改變將引起電容式傳感器各組成部分的集合尺寸和相互位置的變化，從而導致電容式傳感器產(chǎn)生溫度附加誤差，這個誤差尤其在檢測間隙變化的電容式傳感器中更為嚴重因為它的初始間隙很小。

2. 溫度對介電常數(shù)的影響

電容式傳感器的電容值與介質(zhì)的介電常數(shù)成正比，因此對于介電常數(shù)的溫度系數(shù)不為零的傳感器，溫度的變化必然會引起傳感器電容值的改變，從而造成溫度附加誤差。

3. 漏電阻的影響

電容式傳感器的容抗都很高，特別是當激勵頻率較低時。當兩極間總的漏電阻與容抗相近時，就必須考慮分路作用對整個系統(tǒng)總靈敏度的影響，它將使傳感器的靈敏度下降。

4. 邊緣效應與寄生參量的影響

邊緣效應使設計計算復雜化、產(chǎn)生非線性及降低傳感器的靈敏度。消除和減小的方法是在結構上增設防護電極，防護電極必須與備防護電極取相同的電位，盡量使它們同為地電位。